| 基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器研究 |
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| 引用本文： | 仝杰,贾雅娜,张薇,王兴隆,王诗月,王文.基于磁致伸缩效应的声表面波电流传感器研究[J].压电与声光,2017,39(5):662-664. |
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| 作者姓名： | 仝杰 贾雅娜 张薇 王兴隆 王诗月 王文 |
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| 作者单位： | （1. 国家电网公司中国电力科学研究院，北京 100192;2.中国科学院 声学研究所,北京 100190） |
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| 基金项目： | 国家电网公司总部科技基金资助项(DG71 15 038)，国家自然科学基金资助项目(11374254) |
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| 摘 要： | 该文设计制作了一种基于磁致伸缩效应的声表面波(SAW)电流传感器,采用了磁致伸缩铁钴合金(FeCo)薄膜,并对其性能进行实验研究。传感器采用双通道300 MHz声表面波延迟线型振荡器结构,以128°YXLiNbO_3为压电基片,在其表面覆盖与其温度系数极性相反的SiO_2薄膜来改善器件温度稳定性,并在声传播路径上溅射FeCo薄膜用以感知电流量。在电流产生磁场作用下,FeCo薄膜发生磁致伸缩应变,导致声传播速度的变化,进而以振荡器频率信号的改变来表征待测电流。该文通过对不同FeCo膜厚及不同FeCo薄膜长宽比的传感器进行实验分析,以获得优化的传感功能结构。实验结果表明,在优化的FeCo薄膜厚度(500nm)和长宽比(2∶1)条件下,所研制的声表面波电流传感器的灵敏度为12.375kHz/A。
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| 关 键 词： | 声表面波(SAW) 磁致伸缩效应 FeCo薄膜 射频磁控溅射 128°YX-LiNbO_3 |
Study on SAW Current Sensor Based on Magnetostrictive Effect |
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| TONG Jie,JIA Yan,ZHANG Wei,WANG Xinglong,WANG Shiyue,WANG Wen.Study on SAW Current Sensor Based on Magnetostrictive Effect[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2017,39(5):662-664. |
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| Authors: | TONG Jie JIA Yan ZHANG Wei WANG Xinglong WANG Shiyue WANG Wen |
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| Affiliation: | (1.China Electric Power Research Institute, State Grid Corporation of China,Beijing 100192,China;
2. Institute of Acoustics, Chinese Academy of Sciences,Beijing 100190,China) |
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