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| 同步辐射光在ULSI工业生产中的应用及其课题 | |
| 引用本文： | 郑国强.同步辐射光在ULSI工业生产中的应用及其课题[J].电子机械工程,1993,9(1):1-4,61. |
| 作者姓名： | 郑国强 |
| 作者单位： | 机电部第45研究所 |
| 摘 要： | 本文简要介绍同步辐射光的原理、特征,同步辐射光装置的构成及其开发现状,重点阐述同步辐射光在ULSI工业生产中的应用及其研究的课题。 |
| 关 键 词： | 光刻技术 集成电路 ULSI 应用 |
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