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| 金属氧化物气敏传感器 | |
| 引用本文： | 徐毓龙.金属氧化物气敏传感器[J].传感技术学报,1997,10(1):79-82. |
| 作者姓名： | 徐毓龙 |
| 作者单位： | 西安电子科技大学!电子材料与元器件教研室，西安710071，IPhysikalishesInstitutderRWTH!Aachen，52056，Germany |
| 摘 要： | 6结论与展望 6.1气敏传感器近年来的研究开发成果 以二氧化锡可燃性气体传感器为代表的金属氧化物半导体气敏传感器和以二氧化锆浓差电池氧气传感器为代表的金属氧化物固体电解质气敏传感器实用化以来的短短几十年,金属氧化物气敏传感器事业得到很大的发展,特别是近20年来,它引起了世界主要国 |
| 关 键 词： | 金属氧化物 气敏传感器 半导体 |
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