| 一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器 |
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| 引用本文： | 李洋,许高斌.一种新型并联梳齿驱动的静电型微继电器[J].微纳电子技术,2007,44(7):255-256,287. |
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| 作者姓名： | 李洋 许高斌 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学,理学院,合肥,230009 |
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| 基金项目： | 安徽省教育厅自然科学基金 |
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| 摘 要： | 介绍了一种新型的、利用并联梳齿结构驱动的静电型微继电器及其制造工艺。通过优化并联梳齿结构的几何尺寸，可以使微继电器的阈值电压降低到5V。该微继电器的主体部分使用一套表面牺牲层标准工艺制造，同时，使用溅射工艺制作Au接触电极，可以使接触电阻降到100mΩ以下，增加了微继电器的使用寿命。由于该微继电器的驱动电压和制造工艺都和普通集成电路的驱动电压和制造工艺相兼容，因此两者在产业化生产中可以很容易地被集成在同一芯片上。
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| 关 键 词： | 微机电系统 微继电器 梳齿驱动 表面牺牲层工艺 |
| 文章编号： | 1671-4776（2007）07/08-0255-02 |
| 修稿时间： | 2007-03-21 |
Novel Electrostatic Microrelay with Parallel-Comb Drive |
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| LI Yang,XU Gao-bin.Novel Electrostatic Microrelay with Parallel-Comb Drive[J].Micronanoelectronic Technology,2007,44(7):255-256,287. |
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| Authors: | LI Yang XU Gao-bin |
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| Affiliation: | School of Science, He f ei University of Technology, He f ei 230009, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS microrelay comb drive surface sacrificial process |
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