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| 接触式干涉仪自由状态下零次干涉带的正确位置 | |
| 作者姓名： | 谢春景 |
| 作者单位： | 河北省廊坊市计量测试研究所 |
| 摘 要： | 接触式干涉仪被广泛地用来检定(3～4)等量块,这种仪器的示值误差δ=±(0.03 1.5niΔλ/λ)μm.可是在一种不被注意的情况下,仪器的示值误差会达到0.3μm左右,这种情况在实际使用中又是可能出现的.因此有必要对此加以认识. |
| 关 键 词： | 接触式干涉仪 自由状态 位置 示值误差 仪器 量块 |
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