| 掺杂n+GaAs的热电式MEMS微波功率传感器在Ka波段的研究 |
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| 引用本文： | 洪 阳,张志强,孙国琛,郑从兵,刘佳琦. 掺杂n+GaAs的热电式MEMS微波功率传感器在Ka波段的研究[J]. 传感技术学报, 2022, 35(2): 143-147. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2022.02.001 |
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| 作者姓名： | 洪 阳 张志强 孙国琛 郑从兵 刘佳琦 |
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| 作者单位： | 东南大学MEMS教育部重点实验室,江苏 南京210096 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（61604039）；至善青年学者支持计划项目（2242019R40030） |
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| 摘 要： | 本文主要通过理论设计和性能测试,研究了热电堆的半导体臂n+GaAs的掺杂浓度对热电式MEMS微波功率传感器在Ka波段工作性能的影响.该类传感器基于微波功率-热-电转换原理工作,其中热电堆是由半导体臂n+GaAs和金属臂Au构成.通过建立理论分析模型,探究了灵敏度、信噪比与掺杂浓度之间的关系,以指导传感器的结构设计,并基...
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| 关 键 词： | MEMS 微波功率传感器 掺杂n+GaAs 灵敏度 信噪比 |
Study on Thermoelectric MEMS Microwave Power Sensor with Doped n+ GaAs at Ka-Band |
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| HONG Yang,ZHANG Zhiqiang,SUN Guochen,ZHENG Congbing,LIU Jiaqi. Study on Thermoelectric MEMS Microwave Power Sensor with Doped n+ GaAs at Ka-Band[J]. Journal of Transduction Technology, 2022, 35(2): 143-147. DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2022.02.001 |
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| Authors: | HONG Yang ZHANG Zhiqiang SUN Guochen ZHENG Congbing LIU Jiaqi |
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