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多靶离子束溅射制备二元合金调制膜

引用本文：	张云,王文魁.多靶离子束溅射制备二元合金调制膜[J].薄膜科学与技术,1993,6(2):156-163.

作者姓名：	张云王文魁

摘要：
关键词：	离子束溅射调制膜
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