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TiN薄膜压入过程的开裂方式及其影响因素

引用本文：	徐可为,郑森林.TiN薄膜压入过程的开裂方式及其影响因素[J].薄膜科学与技术,1993,6(4):263-270.

作者姓名：	徐可为郑森林

摘要：
关键词：	薄膜压入法氮化钛
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