首页 | 本学科首页   官方微博 | 高级检索  
     

射频磁控溅射沉积ZrO2—8%（wt）Y2O3薄膜XPS分析
作者姓名：黄宁康 蒋锦江
摘    要：
关 键 词：射频 磁控溅射 ZrO2－Y2O3 XPS 薄膜
本文献已被 维普 等数据库收录！
设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏

Copyright©北京勤云科技发展有限公司  京ICP备09084417号