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| 高能离子注入对聚酰亚胺薄膜硬度的影响 | |
| 引用本文： | 张超,周筑颍.高能离子注入对聚酰亚胺薄膜硬度的影响[J].核技术,1998,21(8):460-464. |
| 作者姓名： | 张超 周筑颍 |
| 摘 要： | 报道了聚酰亚胺薄膜在高能（６５０ｋｅＶ－２ＭｅＶ）Ｂ＾＋、Ｃ＾＋和Ｃｕ＾＋离子注入后硬度的变化。对注入样品进行了显微硬度测量和ＸＰＳ及ＲＢＳ分析，观察了硬度与离子种类、能量及注入剂量的依赖关系。结果表明，离子注入之后薄膜样品的显微硬度值明显提高，注入离子在样品中的电子能量损失对聚合物材料改性起着关键作用。ＸＰＳ和ＲＢＳ分析显示，离子注入之后聚酰亚胺薄膜中Ｃ的含量增加，形成了以苯环结构为主的新的交联 |
| 关 键 词： | 高能离子注入 聚酰亚胺 显微硬度 XPS RBS |
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