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离子束辅助沉积制备Al/Al2O3双层膜及其性质
引用本文:薛建明 Wolf.,GK. 离子束辅助沉积制备Al/Al2O3双层膜及其性质[J]. 核技术, 1998, 21(1): 16-20
作者姓名:薛建明 Wolf.  GK
作者单位:北京大学重离子物理研究所,德国海德堡大学物理化学研究所
摘    要:利用离子束辅助沉积的方法在CK45号钢和AlTi合金基体上制备了具有不同厚度Al层或Al2O3层的Al/Al2O3双层膜系统,Al与Al2O3层之间是厚度为100nm的梯度界面层,利用电化学方法测量了样品在近中性水溶液中耐腐蚀性能,实验中还测量了样品的表面硬度和耐摩擦性能,研究了双层膜系统中Al或Al2O3层厚度变化对样品物理性质和化学性质的影响。

关 键 词:离子束辅助沉积 抗腐蚀 铝/氧化铝膜层

Properties of the Al/Al2O3 bilayer coatings deposited by IBAD
XUE Jianming ZHAO Weijing. Properties of the Al/Al2O3 bilayer coatings deposited by IBAD[J]. Nuclear Techniques, 1998, 21(1): 16-20
Authors:XUE Jianming ZHAO Weijing
Abstract:The Al/Al2O3 bilayer coatings have been deposited on DK45 steel and ALTi alloyby using the ion beam assisted deposition (IBAD) method. Sample's corrosionresistance was evaluated by electrochemical method, and their surface hardness andsample's properties was studied. Tt was shown that the deposition of AL/Al2O3 bilayercan greatly improve sample's corrosion resistance, surface gardness and tribologicalproperties.
Keywords:Ion beam assisted deposition    Al/Al2O3 bilayer coating    Corrosionresistance
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