| 一种压电薄膜微致动器的致动原理分析及有限元模拟 |
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| 引用本文： | 孙伟杰,林建中,徐小波.一种压电薄膜微致动器的致动原理分析及有限元模拟[J].精密制造与自动化,2007(4):38-40. |
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| 作者姓名： | 孙伟杰 林建中 徐小波 |
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| 作者单位： | 上海理工大学,机械工程学院,200093 |
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| 摘 要： | 介绍了硬盘磁头中的压电薄膜微致动器,用层合梁理论分析了微致动器的致动原理,得出了致动力与压电薄膜层数成正比.用有限元软件对粘有40 μm、80μm单层薄膜以及单层厚度40μm的二层和三层微致动器进行有限元仿真,其中薄膜厚度为40 μm的单层和双层的微致动器位移分别达到0.850 29μm/20V、0.827 44 μm/20V,满足了低能耗高位移的行业要求,同时比较了压电薄膜不同粘贴方式的致动效果,得出悬臂上下各粘一层薄膜的致动效果比较理想的结论.
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| 关 键 词： | 压电薄膜 微致动器 有限元 压电薄膜 微致动器 原理分析 有限元模拟 Finite Element Simulation Piezoelectric Analysis 悬臂 效果 粘贴方式 比较 行业 能耗高 位移 薄膜厚度 有限元仿真 单层厚度 有限元软件 层数 动力 |
Theory Analysis of Piezoelectric Thin-Film Micro-Actuator and Its Finite Element Simulation |
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| Sun Weijie,Lin Jianzhong,Xu Xiaobo.Theory Analysis of Piezoelectric Thin-Film Micro-Actuator and Its Finite Element Simulation[J].Precise Manafacturing & Automation,2007(4):38-40. |
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| Authors: | Sun Weijie Lin Jianzhong Xu Xiaobo |
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