一种测试微细电子束斑电流密度分布的方法

用刀边法取样估算电子束斑直径一直是人们常用的方法,但由于难以得到平滑、陡峭的刀边,其分辨率一直限制在亚微米数量级。本文研究、制做了硅腐蚀光栅,并用其做取样器,用刀边法测试了DX-3 SEM电子束斑直径。实验表明用硅腐蚀光栅做刀边测试电子束斑,分辨率高于50nm。