| 硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算 |
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| 引用本文： | 任杰,樊尚春. 硅基谐振式微机械加速度计的设计与仿真计算[J]. 传感技术学报, 2007, 20(9): 1992-1995 |
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| 作者姓名： | 任杰 樊尚春 |
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| 作者单位： | 北京航空航天大学仪器学院,北京,100083;北京航空航天大学仪器学院,北京,100083 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 分析了硅基谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的结构形式,进行了结构的优化设计和仿真计算.用MATLAB软件分析了结构参数对性能指标的影响,用ISIGHT优化软件优化出结构参数,用ANSYS仿真软件对结构进行了静态分析和模态分析,验证了所提出结构的设计思想和优化参数的可行性.
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| 关 键 词： | 微机电系统 微机械加速度计 谐振器 |
| 文章编号： | 1004-1699（2007）09-1992-04 |
| 收稿时间： | 2007-01-15 |
| 修稿时间： | 2007-01-152007-03-01 |
Design and simulated calculation of Si-based micromechanical resonant accelerometer |
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| REN Jie,FAN Shangchun. Design and simulated calculation of Si-based micromechanical resonant accelerometer[J]. Journal of Transduction Technology, 2007, 20(9): 1992-1995 |
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| Authors: | REN Jie FAN Shangchun |
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| Affiliation: | School of Instrument Science & Opto-electronics Engineering, Beihang University |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS micromechanical resonant accelerometer resonator |
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