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| 基于轻敲模式AFM的纳米振动表征方法 | |
| 引用本文： | 徐临燕,栗大超,刘瑞鹏,邱晗,傅星,胡小唐,张文栋.基于轻敲模式AFM的纳米振动表征方法[J].压电与声光,2010,32(4). |
| 作者姓名： | 徐临燕 栗大超 刘瑞鹏 邱晗 傅星 胡小唐 张文栋 |
| 作者单位： | 1. 天津大学,精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072 2. 天津航海仪器研究所,天津,300131 3. 中北大学电子测试技术国家重点实验室,山西,太原,030051 |
| 基金项目： | 科技部国际科技合作与交流专项基金资助项目，国家自然科学重点基金资助项目 |
| 摘 要： | 针对纳米振动测量方法中存在的间接性、低分辨率、低带宽等局限性,建立了原子力显微镜(AFM)的轻敲模式下探针与振动样品间相互作用的振动系统模型,采用Runge-Kutta数值积分方法分析了AFM测振技术的可行性和工作带宽.使用静电激励的双端固支纳米梁作为测试结构,采用AFM轻敲模式测试了样品的幅频响应特性.同时采用显微激光多普勒测振系统进行了比对测试,测量结果与AFM轻敲力曲线模式的测量结果相符,也表现出AFM轻敲模式的测量误差具有与测试样品相关的频率特性. |
| 关 键 词： | 纳机电系统 纳米梁谐振器 离面振动 原子力显微镜(AFM) 轻敲模式 |
Characterization of Nanoscale Vibration Using Tapping Mode AFM |
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| XU Linyan,LI Dachao,LIU Ruipeng,QIU Han,FU Xing,HU Xiaotang,ZHANG Wendong.Characterization of Nanoscale Vibration Using Tapping Mode AFM[J].Piezoelectrics & Acoustooptics,2010,32(4). | |
| Authors: | XU Linyan LI Dachao LIU Ruipeng QIU Han FU Xing HU Xiaotang ZHANG Wendong |
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