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杂志ISSN号
铁基巨磁阻抗薄膜的研究
引用本文:
徐东,吕霞,戚震中.铁基巨磁阻抗薄膜的研究[J].真空科学与技术学报,2000,20(6):401403.
作者姓名:
徐东
吕霞
戚震中
作者单位:
上海交通大学信息存储研究中心,上海交通大学“薄膜与微细技术”国家教育部重点实验室!上海200030
摘 要:
溅射方法制备的非晶Fe68Cu0 .5Cr4 V5Si13 .5B9薄膜 ,通过适宜的退火处理得到具有纳米α Fe(Si)和非晶母相的混合结构和最佳的软磁性能 ,相应的巨磁阻抗值最高可达 72 %。本文着重研究了热处理条件、薄膜组织结构、软磁性能以及驱动电流频率对Fe68Cu0 .5Cr4 V5Si13 .5B9薄膜磁致阻抗的影响。
关 键 词:
巨磁阻抗效应
退火热处理
Fe_(68)Cu_(0.5)Cr_4V_5Si_(13.5)B_9薄膜
修稿时间:
2000-02-17
Studies of Giant Magneto-impedance of Fe-based Thin Films
Abstract:
Keywords:
Giant magneto
impedance effects
Annealing treatment
Fe_(68)Cu_(0
5)Cr_4V_5Si_(13
5)B_9thin films
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