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| LICVD法制备a-Si_3N_4纳米粒子光谱研究 | |
| 作者姓名： | 凤雷 郑韬 李道火 |
| 作者单位： | 中国科学院安徽光学精密机械研究所!合肥230031 |
| 摘 要： | 用激光化学气相沉积法制备出平均粒径为１０ｎｍ左右的ａＳｉ３Ｎ４纳米粒子．红外吸收和喇曼光谱研究表明ａＳｉ３Ｎ４纳米粒子中存在Ｓｉ—Ｎ，Ｓｉ—Ｈ，Ｎ—Ｈ，Ｓｉ—Ｏ—Ｓｉ键，分析了ａＳｉ３Ｎ４纳米粒子在不同的温度和气氛退火后的变化情况．并对ａＳｉ３Ｎ４纳米粒子胶体溶液的紫外可见吸收进行了测试分析． |
| 关 键 词： | 纳米材料 纳米粒子光谱 α－Si3N4 LICVD |
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