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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
LICVD法制备a-Si_3N_4纳米粒子光谱研究
作者姓名:
凤雷
郑韬
李道火
作者单位:
中国科学院安徽光学精密机械研究所!合肥230031
摘 要:
用激光化学气相沉积法制备出平均粒径为10nm左右的aSi3N4纳米粒子.红外吸收和喇曼光谱研究表明aSi3N4纳米粒子中存在Si—N,Si—H,N—H,Si—O—Si键,分析了aSi3N4纳米粒子在不同的温度和气氛退火后的变化情况.并对aSi3N4纳米粒子胶体溶液的紫外可见吸收进行了测试分析.
关 键 词:
纳米材料 纳米粒子光谱 α-Si3N4 LICVD
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