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| 电子束蒸镀Y_2O_3-ZrO_2减反射膜用于1.3μm半导体激光器 | |
| 作者姓名： | 王浙辉 林理彬 卢铁城 |
| 作者单位： | 四川大学物理系辐射物理及技术国家教委开放实验室!成都610064 |
| 摘 要： | 用ＤＭＰ４５０型电子束镀膜机，制备了Ｙ２Ｏ３ＺｒＯ２膜，并将它用作１．３μｍ半导体激光器的减反射膜．测试结果表明，镀膜后的半导体激光器其外微分子量效率明显提高，线性化也有改善．对于减反程度很高的管子，出现了超辐射现象．本文对这些现象及有关机理进行了讨论． |
| 关 键 词： | 半导体激光器 电子束蒸镀 Y2O3－ZrO2 减反射模 |
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