Ge0.4Si0.6/Si多量子阱与Ge/Si周期超晶格样品中的深中心 |
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引用本文: | 王海龙,司俊杰.Ge0.4Si0.6/Si多量子阱与Ge/Si周期超晶格样品中的深中心[J].半导体学报,1999,20(9):737-742. |
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作者姓名: | 王海龙 司俊杰 |
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摘 要: | 用深能级瞬态谱(DLTS)研究了分子束外延生长的Ge0.4Si0.6/Si多量子阱与Ge/Si为超晶格样品中深能级中心的性质,在种样品中都观测到两个多数载流子中心和一个少数载流子中心,在Ge0.4Si0.6/Si多量子阱样品深中心E2的能级位置为EC-0.30eV,E3的能级位置为Ec-0.22eV,并且在正向注入下随着E2峰的消失到一个少数载流子峰SH1,其能级位置为EV+0.68eV,在Ge/
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关 键 词: | 硅 量子阱 应变超晶格 DLTS 外延生长 |
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