| 体微加工技术在MEMS中的应用 |
| |
| 引用本文： | 林日乐,谢佳维,蔡萍,翁邦英,董宏奎,赵建华,王瑞,张巧云. 体微加工技术在MEMS中的应用[J]. 压电与声光, 2005, 27(3): 324-327 |
| |
| 作者姓名： | 林日乐 谢佳维 蔡萍 翁邦英 董宏奎 赵建华 王瑞 张巧云 |
| |
| 作者单位： | 1. 四川压电与声光技术研究所,重庆,400060
2. 重庆科技学院,机械学院,重庆,400042 |
| |
| 摘 要： | 微机电系统(MEMS)技术的基础是由微电子加工技术发展起来的微结构加工技术，包括表面微加工技术和体微加工技术。其中体微加工技术是微传感器、微执行器制造中最重要的加工技术。该文主要介绍以加工金属、聚合物以及陶瓷为主的LIGA技术，先进硅刻蚀技术(ASE)和石英晶体深槽湿法刻蚀技术。最后给出用LIGA技术和牺牲层技术制作微加速度传感器的例子。
|
| 关 键 词： | 微加工技术 微机电系统（MEMS） LIGA技术 微电子加工技术 微加速度传感器 应用 刻蚀技术 微传感器 微执行器 石英晶体 技术制作 微结构 聚合物 牺牲层 硅 |
| 文章编号： | 1004-2474(2005)03-0324-04 |
| 修稿时间： | 2004-07-13 |
Application of Bulk Micromachining Technology in MEMS |
| |
| LIN Ri-le,XIE Jia-wei,CAI Ping,WENG Bang-ying,DONG Hong-kui,ZHAO Jian-hua,WANG Rui,ZHANG Qiao-yun. Application of Bulk Micromachining Technology in MEMS[J]. Piezoelectrics & Acoustooptics, 2005, 27(3): 324-327 |
| |
| Authors: | LIN Ri-le XIE Jia-wei CAI Ping WENG Bang-ying DONG Hong-kui ZHAO Jian-hua WANG Rui ZHANG Qiao-yun |
| |
| Affiliation: | LIN Ri-le~1,XIE Jia-wei~1,CAI Ping~2,WENG Bang-ying~1,DONG Hong-kui~1,ZHAO Jian-hua~1,WANG Rui~1,ZHANG Qiao-yun~1 |
| |
| Abstract: | MEMS is based on microstructuring technology, which developed from microelectro technology. It includes bulk micromachining and surface micromachining. Three main bulk micromachining processes are described in the paper: the LIGA technology,which is mainly for processing of metal,polymer and ceramic, anisotropic silicon etch(ASE) techniques and deep wet chemical etching of quartz process.The capabilities of these processes are illustrated by a MEMS application : accelerometer. |
| |
| Keywords: | MEMS LIGA ASE quartz wet chemical etching |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
