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| MSM结构硅光探测器 | |
| 引用本文： | 尹长松 李青松. MSM结构硅光探测器[J]. 半导体光电, 1993, 14(2): 156-160 |
| 作者姓名： | 尹长松 李青松 |
| 作者单位： | 武汉大学物理系，深圳大明太阳电池有限公司 武汉 430072，深圳 518045 |
| 摘 要： | 采用 MSM 双肖特基势垒结构制作的硅光电二极管,在0.2～1.10μm波长范围内具有高的响应度。这种结构还可以构成横向光晶体管,共发射极电流增益为2～4倍。实验表明,MSM 结构是改善硅光电探测器光谱响应的良好结构。 |
| 关 键 词： | MSM结构 肖特基势垒 光探测器 |
MSM Si Photodetector |
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| Yin Changsong. MSM Si Photodetector[J]. Semiconductor Optoelectronics, 1993, 14(2): 156-160 | |
| Authors: | Yin Changsong |
| Abstract: | |
| Keywords: | Photodetector Phototransistor MSM Structure Schottky Barrier |
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