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| 前级真空泵抽速对涡轮分子泵抽空性能的影响 | |
| 引用本文： | 于亦谦,顾香春,竺长新,佟子谦,朱岳,王孝珍.前级真空泵抽速对涡轮分子泵抽空性能的影响[J].真空,1985(5). |
| 作者姓名： | 于亦谦 顾香春 竺长新 佟子谦 朱岳 王孝珍 |
| 作者单位： | 中国科学院科学仪器厂 (于亦谦，顾香春，竺长新，佟子谦，朱岳)，中国科学院科学仪器厂(王孝珍) |
| 摘 要： | 一、前言 涡轮分子泵是一种能获得清洁超高真空的真空获得设备。它具有在极宽范围内抽速恒定、对被抽气体无选择性、起动快、操作方便等特点,目前已广泛应用于高能物理,表面物理,等离子体技术,各种分析仪器,电真空器件生产和真空技术各领域。 目前所生产的涡轮分子泵,是必需在有前级泵的条件下工作的真空泵。实验表明,由于级泵抽速的不同和前级泵联接管道的差异,对涡轮分子泵的性能测试结果有较大影响。涡轮分子泵的性能测试规程,规定其前级抽速是涡轮分子泵对不同气体名义抽速的 0.02至0.1倍。据此,如测定110升/秒抽速的涡轮分子泵性能时,… |
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