|
|||||
|
|
| 硅烷开发应用前景广阔 | |
| 作者姓名： | 汪家铭 |
| 作者单位： | 川化集团公司 |
| 摘 要： | 硅烷是硅和氢的化合物，分子式ＳｉＨ４，常温下为无色极活泼的压缩气体，有令人不愉快的臭味，其生产方法有硅化镁法、氢化铝锂法、非均相反应法等３种。我国目前生产厂家有浙江大学半导体材料研究所、南京特气公司、保定红星单晶硅厂、广州半导体材料研究所等，这些企业... |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
||||||||||||||||
|
|
|
|
| 设为首页 | 免责声明 | 关于勤云 | 加入收藏 |
|
Copyright©北京勤云科技发展有限公司 京ICP备09084417号 |