| PZT材料在射频滤波器中的应用 |
| |
| 引用本文： | 刘燕翔,任天令,刘理天.PZT材料在射频滤波器中的应用[J].固体电子学研究与进展,2002,22(2):149-152,184. |
| |
| 作者姓名： | 刘燕翔 任天令 刘理天 |
| |
| 作者单位： | 清华大学微电子研究所,北京,100084 |
| |
| 基金项目： | 国家“973”项目 (G19990 3 3 10 5 )，教育部“985”项目资助 |
| |
| 摘 要： | 锆钛酸铅 (PZT)材料有着优良的压电性能 ,其薄膜具有高机电耦合系数、高品质因数的特点 ,适合于制作低插损、大带宽的射频 (RF)滤波器。文中介绍了 RF体声波滤波器的原理、结构和 PZT的材料特性 ,探讨了PZT薄膜的制备、退火、刻蚀工艺的选择与优化 ,并在此基础上设计了应用 PZT薄膜的体声波滤波器 ,模拟了该器件的性能
|
| 关 键 词： | 锆钛酸铅 射频滤波器 谐振器 微电子机械系统 |
| 文章编号： | 1000-3819(2002)02-149-04 |
PZT Thin Films for RF Resonators and Filters |
| |
| LIU Yanxiang,REN Tianling,LIU Litian.PZT Thin Films for RF Resonators and Filters[J].Research & Progress of Solid State Electronics,2002,22(2):149-152,184. |
| |
| Authors: | LIU Yanxiang REN Tianling LIU Litian |
| |
| Abstract: | PZT thin films, characterized by high K t and high Q, are suitable for making low insertion, wide bandwidth RF filters. In this paper, the application feasibility of PZT thin films is demonstrated by detailed studies and designs. Optimizations of preparation and fabrication processes are presented for further improving the quality of the piezoelectric films. The performance of the PZT based bulk acoustic wave filter is also simulated. |
| |
| Keywords: | PZT RF filters resonators MEMS |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ |
|
