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| LiNbO_3压电薄膜的研究进展 | |
| 引用本文： | 王俊喜,董向丹,张丽伟,王新昌.LiNbO_3压电薄膜的研究进展[J].真空与低温,2010,16(1):55-60. |
| 作者姓名： | 王俊喜 董向丹 张丽伟 王新昌 |
| 作者单位： | 1. 郑州大学,物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052 2. 新乡学院,河南,新乡,453003 3. 郑州大学,物理工程学院材料物理教育部重点实验室,河南,郑州,450052;浙江大学,硅材料国家重点实验室,浙江,杭州,310027 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金，硅材料国家重点实验室开放课题，河南省教育厅自然科学基金 |
| 摘 要： | LiNbO3因其优异的压电性能和声表面波特性而被广泛应用于声表面波器件中。对LiNbO3的声表面波特性及薄膜制备技术进行了综述,并着重介绍了LiNbO3/蓝宝石及LiNbO3/金刚石多层结构的制备、声表面波特性的理论研究及压电薄膜研究进展。 |
| 关 键 词： | LiNbO3 压电薄膜 声表面波 |
THE RESEARCH PROGRESS OF LINBO3PIEZOELECTRIC THIN FILMS |
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| WANG Jun-xi,DONG Xiang-dan,ZHANG Li-wei,WANG Xin-chang.THE RESEARCH PROGRESS OF LINBO3PIEZOELECTRIC THIN FILMS[J].Vacuum and Cryogenics,2010,16(1):55-60. | |
| Authors: | WANG Jun-xi DONG Xiang-dan ZHANG Li-wei WANG Xin-chang |
| Affiliation: | 1. Key Laboratory of Material Physics, and School of Physics and Engineering, Zhengzhou University, Zhengzhou 450052, China; 2. Xinxiang University, Xinxiang 453003, China;3. State Key Lab of Silicon Materials, Zhejiang University, Hangzhou 310027, China) |
| Abstract: | LiNbO3 have many applications in SAW devices due to its excellent piezoelectric and surface acoustic wave properties. This paper gives emphasis on the structure, surface acoustic wave properties and fabrication of LiNbO3 thin films. Finally, the research progresses of LiNbO3/sapphire and LiNbO3/diamond structures in the field of surface acoustic wave were reviewed. |
| Keywords: | LiNbO3 |
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