编辑导语 |
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引用本文: | 单智伟,付琴琴,田琳.编辑导语[J].中国材料进展,2013(12):705+751-705. |
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作者姓名: | 单智伟 付琴琴 田琳 |
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作者单位: | 中国电镜学会聚焦离子束专业委员会 |
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摘 要: | 聚焦离子柬(Focused Ion Beam,FIB)技术自从20世纪70年代中期问世以来就得到了迅速发展,尤其是近些年伴随着FIB系统在分辨率、稳定性、用户友好自动化程序方面的发展,以及FIB系统与SEM、各种信号探测模式(如低能背散射电子(BSE)、x射线能谱(EDX)、电子背散射衍射(EBSD))、高精度的纳米操纵仪及力学测试仪等的结合,使其逐渐演化为功能强大的材料加工、表征、分析和测试平台,其应用领域也从最初的半导体材料检测扩展到材料科学、生命科学、纳米科学等研究领域。FIB凭借其高效独特的微纳尺度加工性能,正日益成为纳米科学技术工作者不可或缺的工具之一。
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关 键 词: | 纳米科学技术 电子背散射衍射 编辑 聚焦离子柬 背散射电子 x射线能谱 FIB 信号探测 |
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