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| STEPPER通用测试掩模的设计及使用 | |
| 引用本文： | 刘文辉.STEPPER通用测试掩模的设计及使用[J].半导体情报,1995,32(3):34-39. |
| 作者姓名： | 刘文辉 |
| 摘 要： | 介绍了一种ＳＴＥＰＰＥＲ通用测试掩模（ＵＴＭ）的设计构成及各测试元素图形的作用。在此基础上，分析了电子束制作ＵＴＭ的误差，并阐述了ＵＴＭ的测试方法、数据处理及其对ＳＴＥＰＰＥＲ性能的影响。 |
| 关 键 词： | 测试 掩模 STEPPER 测试掩模 设计 |
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