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杂志ISSN号
微电子器件可靠性研究与展望
引用本文:
王长河.微电子器件可靠性研究与展望[J].半导体情报,1995,32(3):1-7.
作者姓名:
王长河
摘 要:
本文扼要介绍了近5年来我国在微电子器件(半导体分立器件及集成电路)可靠性研究方面所取得的进展与成果及存在的问题。预计今后5 ̄10年内,我国微电子器件可靠性研究工作将在5个方面展开,器件可靠性水平将提高1 ̄2个数量级。
关 键 词:
可靠性
失效模式
失效机理
微电子器件
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