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MBE法生长的调制掺杂GaAs/AlxGa1—xAs异质结构材料的输运特性研究
作者姓名:
朱顺才
摘 要:
采用变磁场霍尔效应方法,在低磁场(B<0.6T)和低温(T=77K)条件下,了HEMT器件用调制掺杂GaAs/AlxCa1-xAs异质结构材料的输运特性,给出了材料电学参数(ρ、n和μ)与B的依赖关系,揭示了平行电导对材料质量的影响,并对上述依赖关系作了初步的定量分析。
关 键 词:
异质结构材料 调制掺杂 输运特性 MBE法 砷化镓 ALGaAs
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