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| 蝶翼式振动加速度传感器设计与制造 | |
| 作者姓名： | 李凯 单恒 蒲金飞 陈伟琪 吴学忠 侯占强 |
| 摘 要： | 针对故障诊断与安全监测的应用需求,设计了一种大量程、体积小、高谐振频率的蝶翼式振动加速度传感器.通过COMSOL有限元分析(FEA)对敏感结构进行了分析与优化设计.采用了基于绝缘体上硅(SOI)圆片的敏感结构制造工艺完成了敏感结构的加工,将敏感结构与信号检测电路进行了集成,并与传感器结构件进行了封装,完成了蝶翼式加速度... |
| 关 键 词： | 振动传感器 加速度 蝶翼式 微机械加工 集成封装 |