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离子束辅助沉积技术在腐蚀与防护中的应用
引用本文:翁端,李西峰.离子束辅助沉积技术在腐蚀与防护中的应用[J].材料保护,1998,31(2):21-23.
作者姓名:翁端  李西峰
作者单位:清华大学材料系
摘    要:离子束辅助沉积技术是近年来发展很快的一种表面技术,集气相沉积和离子注入优点于一体,为改善2薄膜

关 键 词:薄膜  腐蚀  离子束辅助沉积  防腐  镀膜  表面处理
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