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离子束辅助沉积技术在腐蚀与防护中的应用

作者姓名：	翁端李西峰

作者单位：	清华大学材料系

摘要：	离子束辅助沉积技术是近年来发展很快的一种表面技术，集气相沉积和离子注入优点于一体，为改善２薄膜
关键词：	薄膜腐蚀离子束辅助沉积防腐镀膜表面处理
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