| 新型硅-铝-硅结构MEMS加工技术及应用 |
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| 引用本文： | 徐永青,杨拥军,郑七龙,李海军. 新型硅-铝-硅结构MEMS加工技术及应用[J]. 中国机械工程, 2005, 16(Z1): 422-423 |
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| 作者姓名： | 徐永青 杨拥军 郑七龙 李海军 |
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| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第十三研究所,石家庄,050051 |
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| 摘 要： | 提出了一种新型的硅-铝-硅结构的MEMS器件加工技术.采用了微电子工艺中的铝-硅烧结技术,将具有铝层的两个硅片键合在一起,并采用全干法深刻蚀技术在其中的一层硅片上进行MEMS器件的加工.该技术已成功应用到MEMS光开关及其他MEMS器件的制作中.
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| 关 键 词： | MEMS 体硅工艺 硅-铝-硅(SAS) 合金 键合 光开关 |
| 文章编号： | 1004-132X(2005)S1-0422-02 |
| 修稿时间： | 2005-04-07 |
An Innovative Silicon-Aluminum-Silicon MEMS Process and Its Applications |
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| Xu Yongqing,Yang Yongjun,Zheng Qilong,Li Haijun. An Innovative Silicon-Aluminum-Silicon MEMS Process and Its Applications[J]. China Mechanical Engineering, 2005, 16(Z1): 422-423 |
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| Authors: | Xu Yongqing Yang Yongjun Zheng Qilong Li Haijun |
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