| 脉冲激光沉积法室温下ZnO薄膜的制备与表征 |
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| 引用本文： | 曹亮亮,叶志镇,张阳,朱丽萍,张银珠,诸葛飞,赵炳辉. 脉冲激光沉积法室温下ZnO薄膜的制备与表征[J]. 真空科学与技术学报, 2005, 25(4): 256-258,262 |
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| 作者姓名： | 曹亮亮 叶志镇 张阳 朱丽萍 张银珠 诸葛飞 赵炳辉 |
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| 作者单位： | 浙江大学硅材料国家重点实验室,杭州,310027 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划(973计划)，国家自然科学基金，国家自然科学基金，高等学校博士学科点专项科研项目，浙江省自然科学基金 |
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| 摘 要： | 在室温条件下,采用脉冲激光沉积技术在玻璃衬底上生长了ZnO薄膜.对薄膜的XRD分析表明,ZnO薄膜为六方纤锌矿结构并沿c轴取向生长,且(002)衍射峰的半高峰宽仅为0.24°.薄膜沿c轴方向受到一定的张应力为1.7×108 N/m2.原子力显微镜分析表明薄膜表面较为平整,平均粗糙度约为6.5 nm,晶粒尺寸约为50 nm.此外,透射光谱分析表明薄膜的禁带宽度为3.25 eV,与ZnO体材料的禁带宽度3.30 eV基本相同.
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| 关 键 词： | ZnO薄膜 C轴取向 室温 脉冲激光沉积 |
| 文章编号： | 1672-7126（2005）04-0256-03 |
| 收稿时间： | 2005-01-22 |
| 修稿时间： | 2005-01-22 |
Room Temperature Growth and Characterization of ZnO Films by Pulsed Laser Deposition |
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| Cao Liangliang,Ye Zhizhen,Zhang Yang,Zhu Liping,Zhang Yinzhu,Zhuge Fei,Zhao Binghui. Room Temperature Growth and Characterization of ZnO Films by Pulsed Laser Deposition[J]. JOurnal of Vacuum Science and Technology, 2005, 25(4): 256-258,262 |
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| Authors: | Cao Liangliang Ye Zhizhen Zhang Yang Zhu Liping Zhang Yinzhu Zhuge Fei Zhao Binghui |
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| Keywords: | ZnO film c-axis orientation Room temperature Pulsed laser deposition |
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