| 氧化多孔硅周期性波导光栅耦合器的实验研究 |
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| 引用本文： | 贾振红 涂楚辙 地里木拉提·吐尔逊. 氧化多孔硅周期性波导光栅耦合器的实验研究[J]. 光电子．激光, 2004, 15(5): 534-536 |
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| 作者姓名： | 贾振红 涂楚辙 地里木拉提·吐尔逊 |
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| 作者单位： | 新疆大学信息科学与工程学院,乌鲁木齐,830046;新疆大学信息科学与工程学院,乌鲁木齐,830046;新疆大学信息科学与工程学院,乌鲁木齐,830046 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(60067001),中国科学院"西部之光"资助项目 |
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| 摘 要： | 报道了用两束相干激光在HF溶液中的多孔Si(PS)表面上干涉形成光强周期分布,通过光溶解得到了孔隙率周期变化的结构,从而制备出氧化PS周期性波导光栅。实现了辐射模与波导中传输模之间的耦合,并由外部入射光波或衍射光的方向确定了波导层的有效折射率。
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| 关 键 词： | 周期性波导 光栅耦合器 多孔Si(PS) |
| 文章编号： | 1005-0086(2004)05-0534-03 |
Grating Coupler of Oxidized Porous Silicon |
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| JIA Zhen-hong. Grating Coupler of Oxidized Porous Silicon[J]. Journal of Optoelectronics·laser, 2004, 15(5): 534-536 |
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| Authors: | JIA Zhen-hong |
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| Affiliation: | JIA Zhen-hong~ |
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| Abstract: | The lateral periodic porosity structure on porous silicon(PS) layer was obtained by photo-dissolution process by using two coherent laser beams falling on the surface of sample to form the interfering pattern on porous silicon in HF solution.The oxidized PS grating coupler was fabricated firstly in our experiment.The coupling between the radiating mode and guided mode was realized successfully.The effective refractive index was determined by measuring the direction of the input beam or output diffracted beam. |
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| Keywords: | periodic waveguide coupling grating porous silicon(PS) |
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