| 一种用线阵CCD测量物体表面三维轮廓的新方法 |
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| 引用本文： | 周鸿,赵宏. 一种用线阵CCD测量物体表面三维轮廓的新方法[J]. 半导体光电, 2001, 22(6): 451-451 |
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| 作者姓名： | 周鸿 赵宏 |
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| 作者单位： | 西安交通大学机械学院激光与红外应用研究所, |
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| 基金项目： | 西安交通大学校科研和教改项目;; |
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| 摘 要： | 提出了一种用线阵CCD对物体三维轮廓进行测量的新方法，通过矩形光栅离焦投影，产生正弦光场，利用线阵CCD对物体进行扫描采样，采用三步相移技术进行相位解调，对物体三维轮廓进行测量，重点分析讨论了用线阵CCD对物体三维轮廓进行测量的原理和特性，并给出了试验简图及实际测量结果。
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| 关 键 词： | 相移法 三维轮廓 线阵 光电荷合器件 |
| 文章编号： | 1001-5868(2001)06-0451-03 |
| 修稿时间： | 2001-04-13 |
A New Measuring Technique for 3-D Surface Profilometry Using Linear CCD |
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| ZHOU Hong,ZHAO Hong. A New Measuring Technique for 3-D Surface Profilometry Using Linear CCD[J]. Semiconductor Optoelectronics, 2001, 22(6): 451-451 |
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| Authors: | ZHOU Hong ZHAO Hong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | linear CCD phase shift 3 D profilometry |
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