光学零件的离子束抛光技术

<正>随着国防技术的不断发展,对光学零件的加工精度要求也越来越高,中等精度的光学零件已经不能满足国防领域的要求,如高精密的成像系统,其单个光学零件的表面面形精度要求在λ/50-λ/100,RMS要求1nm,要达到如此高的面形精度,传统的或者一般精度的光学加工设备已经不能满足其要求。