| 溶胶-凝胶法制备PST铁电薄膜 |
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| 引用本文： | 邓传益,谢甜甜,李元昕,姜胜林.溶胶-凝胶法制备PST铁电薄膜[J].中国有色金属学报,2004,14(Z2):492-495. |
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| 作者姓名： | 邓传益 谢甜甜 李元昕 姜胜林 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,电子科学与技术系,武汉,430074 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划) |
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| 摘 要： | 为了制备非致冷红外焦平面阵列,采用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备出了PST铁电薄膜材料,研究了PST薄膜的结构及介电、铁电性能.XRD谱分析显示,PST膜呈现纯钙钛矿结构.SEM电镜照片显示,PST膜厚均匀一致,无裂纹、高致密.在室温且频率为1kHz时,PST膜介电常数为570,介电损耗为0.02,其热释电系数最大值为7.4×10-4C·m-2·K-1.
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| 关 键 词： | PST薄膜 溶胶-凝胶法 介电性能 铁电性能 |
| 文章编号： | 1004-0609(2004)S3-0492-04 |
Microstructure and electrical properties of PST thin films prepared by sol-gel method |
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