| 环境气体对激光烧蚀制备纳米Si晶粒平均尺寸的影响 |
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| 引用本文： | 王英龙,张恒生,褚立志,丁学成,傅广生. 环境气体对激光烧蚀制备纳米Si晶粒平均尺寸的影响[J]. 材料工程, 2008, 0(10) |
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| 作者姓名： | 王英龙 张恒生 褚立志 丁学成 傅广生 |
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| 作者单位： | 河北大学,物理科学与技术学院,河北,保定,071002 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，河北省自然科学基金，河北省教育厅自然科学基金 |
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| 摘 要： | 采用脉冲激光烧蚀装置,在不同环境气体下,沉积制备了含有纳米Si晶粒的薄膜.利用扫描电子显微镜(SEM)观察样品的表面形貌,并对晶粒尺寸进行统计分析,发现不同环境气体下,纳米Si晶粒平均尺寸均随衬底与靶的距离增加有着先增大后减小的规律;通过分析比较,同等条件下Ne气环境下制备的纳米Si晶粒平均尺寸最小.
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| 关 键 词： | 脉冲激光烧蚀 纳米Si晶粒 平均尺寸 环境气体 |
Influence of Ambient Gas on Average Size of Si Nanoparticles Deposited by Pulsed Laser Ablation |
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| WANG Ying-long,ZHANG Heng-sheng,CHU Li-zhi,DING Xue-cheng,FU Guang-sheng. Influence of Ambient Gas on Average Size of Si Nanoparticles Deposited by Pulsed Laser Ablation[J]. Journal of Materials Engineering, 2008, 0(10) |
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| Authors: | WANG Ying-long ZHANG Heng-sheng CHU Li-zhi DING Xue-cheng FU Guang-sheng |
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