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| 清洗硅烷系统尾气的集尘器 | |
| 作者姓名： | 韩美 王玉杰 |
| 作者单位： | 不详 |
| 摘 要： | 该集尘器是离心式清冼器。在半导体制造工业CVD过程中，能安全可靠地处理硅烷系统的尾气，捕集副生粉尘。 |
| 关 键 词： | 集尘器 尾气 系统 硅烷 清洗 制造工业 安全可靠 离心式 CVD 半导体 捕集 |
| 本文献已被 CNKI 维普 等数据库收录！ | |
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