影响Ar~+激光再结晶多晶硅/二氧化硅界面性质的因素 |
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作者姓名: | 黄信凡 鲍希茂 蒋锡平 文婧 褚一鸣 |
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作者单位: | 南京大学物理系(黄信凡,鲍希茂,蒋锡平,文婧),中国科学院半导体研究所(褚一鸣) |
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摘 要: | 本文就Ar~+激光辐照功率、衬底温度等因素对SOI结构再结晶多晶硅/二氧化硅界面性质的影响进行研究,利用高频和准静态C-V技术测量该界面氧化物固定电荷密度N_t和界面态陷阱密度N_(it),用平面和剖面TEM分析再结晶多晶硅膜的结构特性,我们发现当衬底温度为 320℃和420℃时存在一个功率窗口 6.0~6.2W.
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