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MOCVD法制作的12沟道应变层异质结量子阱激光器阵列
引用本文:Cock.,TM 彭珍珍.MOCVD法制作的12沟道应变层异质结量子阱激光器阵列[J].光纤通信技术,1995(1):48-50.
作者姓名:Cock.  TM 彭珍珍
摘    要:采用了选择区外延工艺来制作适用于波分复用的12沟道应变层InGaAs-GaAs-AlGaAs隐埋异质结量子阱激光器阵列。测得单元间的波长间隔为1.9nm,与2nm的设计值非常吻合。

关 键 词:量子阱激光器  异质结  MOCVD  制作
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