MOCVD法制作的12沟道应变层异质结量子阱激光器阵列 |
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引用本文: | Cock.,TM 彭珍珍.MOCVD法制作的12沟道应变层异质结量子阱激光器阵列[J].光纤通信技术,1995(1):48-50. |
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作者姓名: | Cock. TM 彭珍珍 |
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摘 要: | 采用了选择区外延工艺来制作适用于波分复用的12沟道应变层InGaAs-GaAs-AlGaAs隐埋异质结量子阱激光器阵列。测得单元间的波长间隔为1.9nm,与2nm的设计值非常吻合。
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关 键 词: | 量子阱激光器 异质结 MOCVD 制作 |
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