锌在磷化铟单晶中扩散行为的研究

本文采用 Zn_3P_2作扩散源进行真空闭管扩散,对锌在 InP 单晶中的扩散行为作了研究。通过实验给出了扩散系数与温度的关系,并得到了锌在InP 单晶中的激活能。通过实验发现:在相同扩散温度下表面受主浓度随结深加大而减少。采用空位随时间变化的模型解释了这一实验结果,研究了高阻衬底片 p-n 结显示时出现双线的问题。