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| 液态镓离子源的研制与性能研究 | |
| 引用本文： | 王克礼,张化一,陈同,渠志灿,刘小平,杨利亚.液态镓离子源的研制与性能研究[J].微细加工技术,1985(1). |
| 作者姓名： | 王克礼 张化一 陈同 渠志灿 刘小平 杨利亚 |
| 作者单位： | 清华大学物理系 (王克礼，张化一，陈同，渠志灿，刘小平)，清华大学物理系(杨利亚) |
| 基金项目： | 中国科学院科学基金资助的课题 |
| 摘 要： | 微细加工是振兴我国电子工业、发展超大规模集成电路的一种关键技术,而聚焦亚微米离子束又是实现这一技术的最有前途的手段之一。高亮度液态金属离子源的出现为聚焦亚微米束研究开创了新的道路。本文叙述了为亚微米离子束装置研制的三种类型发射体的镓金属离子源,並对研制成的液态镓离子源进行了性能测试,给出了此源的Ⅰ—Ⅴ |
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