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分类号
杂志ISSN号
KZC—磁控溅射镀膜机电源的研究
作者姓名:
李石
作者单位:
锦州真空设备厂
摘 要:
本文介绍KZC—磁控溅射镀膜机电源的组成,工作原理和具有自动起动功能及抑 制系统振荡的良好动态特性。文中详述了“自适应电流调节器”、“电流截止负反馈”、 “触发电路”、“给定积分器和电压调节器”。该电源为磁控溅射镀膜设备实现自动控制 提供了方便。
关 键 词:
磁控溅射 镀膜机 电源
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