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| KZC—磁控溅射镀膜机电源的研究 | |
| 作者姓名： | 李石 |
| 作者单位： | 锦州真空设备厂 |
| 摘 要： | 本文介绍KZC—磁控溅射镀膜机电源的组成，工作原理和具有自动起动功能及抑 制系统振荡的良好动态特性。文中详述了“自适应电流调节器”、“电流截止负反馈”、 “触发电路”、“给定积分器和电压调节器”。该电源为磁控溅射镀膜设备实现自动控制 提供了方便。 |
| 关 键 词： | 磁控溅射 镀膜机 电源 |
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