CYX横向压阻型压力传感器及其在流体测量中的应用

<正> CYX横向压阻型压力传感器是八十年代出现的一种新颖的力敏器件。它在压敏部分采用单一的硅扩散电阻,替代目前流行的由四个电阻组成的惠斯登电桥结构,从而避免了惠斯登电桥结构的弱点,使其最终的测试精度比采用电桥结构的力敏器件高出一个数量级。同时由于该器仆有很高的稳定性和可靠性,已经在流体测量领域中显示出极好的前景,大有替代其它测量工具而成为主流器件的势头。本文介绍该力敏器件的工作原理及其在流体测量中的应用概况。