| Mn0.1Ti0.9O2-δ稀磁半导体薄膜的MBE生长及表征 |
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| 引用本文： | 夏延秋,吴曙翔,刘雅晶,于晓龙,李树玮. Mn0.1Ti0.9O2-δ稀磁半导体薄膜的MBE生长及表征[J]. 半导体学报, 2007, 28(7): 1058-1062 |
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| 作者姓名： | 夏延秋 吴曙翔 刘雅晶 于晓龙 李树玮 |
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| 作者单位： | 中山大学光电材料与技术国家重点实验室，广州 510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室，广州 510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室，广州 510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室，广州 510275;中山大学光电材料与技术国家重点实验室，广州 510275 |
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| 摘 要： | 采用OPA-MBE方法在SrTiO3(STO)衬底上成功制备了Mn0.1Ti0.9O2-δ(MTO）稀磁半导体薄膜. 利用X射线衍射仪、X射线光电子能谱仪、紫外可见光分度计以及直流四探针测试仪研究了薄膜的晶体结构、化学组成、光吸收和电荷输运性质. MTO薄膜具有锐钛矿和金红石的混合相，光吸收带边界发生“红移”，电荷输运性质明显提高，室温环境下电阻率仅为37.5Ω·m.
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| 关 键 词： | Mn0.1Ti0.9O2-δ薄膜；稀磁半导体；OPA-MBE X射线光电子能谱 |
| 文章编号： | 0253-4177（2007）07-1058-05 |
| 修稿时间： | 2007-03-14 |
Characterization of Diluted Magnetic Semiconductor MnTiO Thin Film Grown by Molecular Beam Epitaxy |
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| Xia Yanqiu,Wu Shuxiang,Liu Yajing,Yu Xiaolong and Li Shuwei. Characterization of Diluted Magnetic Semiconductor MnTiO Thin Film Grown by Molecular Beam Epitaxy[J]. Chinese Journal of Semiconductors, 2007, 28(7): 1058-1062 |
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| Authors: | Xia Yanqiu Wu Shuxiang Liu Yajing Yu Xiaolong Li Shuwei |
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| Affiliation: | State Key Laboratory for Optoelectronic Materials and Technologies,Sun Yat-Sen University,Guangzhou 510275,China;State Key Laboratory for Optoelectronic Materials and Technologies,Sun Yat-Sen University,Guangzhou 510275,China;State Key Laboratory for Optoelectronic Materials and Technologies,Sun Yat-Sen University,Guangzhou 510275,China;State Key Laboratory for Optoelectronic Materials and Technologies,Sun Yat-Sen University,Guangzhou 510275,China;State Key Laboratory for Optoelectronic Materials and Technologies,Sun Yat-Sen University,Guangzhou 510275,China |
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