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| 声表面波器件的失效机理和可靠性问题 | |
| 引用本文： | 钱振型.声表面波器件的失效机理和可靠性问题[J].压电与声光,1983(4). |
| 作者姓名： | 钱振型 |
| 作者单位： | 四川压电与声光技术研究所 |
| 摘 要： | SAW器件的应用日益广泛,它的可靠性问题也随之而引起重视.本文分析了电场、温度、材料及工艺等对器件可靠性的影响,对三种重要的失效机理即AI膜的腐蚀、迁移和LiNbO_3压电晶片的微裂进行了讨论并介绍了SAW器件生产中的质量管理、可靠性试验和失效分析等.本文着重指出:要生产高可靠性的SAW器件,必须妥善处理材料、工艺中的一系列问题. |
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