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| 基于散射场分布拟合逼近的表面缺陷检测 | |
| 作者姓名： | 武雄骁 王红军 魏晨 田爱玲 刘丙才 朱学亮 刘卫国 |
| 作者单位： | 西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室,陕西西安710021 |
| 基金项目： | 陕西省自然科学基础研究计划 |
| 摘 要： | 为了实现对光学元件表面不同尺寸尤其是微小尺寸缺陷的精确检测,以典型的光学元件表面缺陷即麻点和划痕为研究目标,提出了一种基于散射场分布拟合逼近的表面缺陷检测方法.实验结果表明,本方法可以对光学元件表面的微小尺寸缺陷进行快速有效的检测,且拟合计算结果与样件原始尺寸的相对误差基本小于5％,验证了本方法的有效性.此外,本方法还... |
| 关 键 词： | 测量与计量 缺陷检测 散射 表面缺陷 精密光学元件 |
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