| 菲佐干涉仪可变波长标准球面镜头设计 |
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| 引用本文： | 王艳,张齐元,王全召,陈秋白,王芳,许帅,韩森.菲佐干涉仪可变波长标准球面镜头设计[J].激光与光电子学进展,2021,58(8):287-295. |
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| 作者姓名： | 王艳 张齐元 王全召 陈秋白 王芳 许帅 韩森 |
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| 作者单位： | 上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093;苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123;苏州维纳仪器有限责任公司,江苏苏州215123;苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123;苏州科技大学数理学院,江苏苏州215009;上海理工大学光电信息与计算机工程学院,上海200093;苏州慧利仪器有限责任公司,江苏苏州215123 |
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| 摘 要： | 菲佐激光干涉仪使用的标准球面镜头通常只能在特定波长下使用.提出了一种通过调整镜头内部透镜间隔来改变其工作波长的方法,利用该方法设计了两款可变波长标准球面镜头,口径为19.05 mm,镜头光圈系数分别为5.6和8.镜头在各目标波长下的参考波前质量均满足设计要求,并分析了公差容限以确保镜头具有可实际加工性.根据可变波长标准...
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| 关 键 词： | 成像系统 光学设计 标准球面镜头 可变波长 菲佐干涉仪 面形测量 |
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